PE自动化上下料机

PE自动化上下料机

参数配置

型号LGA8000
产能8000片/小时(@182)，7000片/小时(@210)
稼动率≥99%
碎片率≤0.03%
硅片尺寸16X-22X(方形或矩形硅片)
选配1.花篮来料碎片检测 2.AOI检测 3.PE/PL一体机 4.翘片检测 5.SiNx膜厚折射率

技术特点

动作精简易于调试，掉片少，兼容大尺寸石墨舟
采用高精度吸附组件，有效降低碎片和划伤
吸盘可单片拔插，方便维护
兼容人工和AGV上下料，选配MES 功能
曲翘片兼容性优，适用BC电池