智能制造

拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司产品

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  • 硼扩/磷扩/氧化/LP自动化上下料机

    硼扩/磷扩/氧化/LP自动化上下料机

    石英舟自动化设备主要功能将经过工艺处理后的石英舟内的硅片自动化取出装篮，并将没经过工艺处理的硅片自动化从花篮中取出装入石英舟，稳定可靠，可匹配市面所有主设备使用，兼容尺寸182-230mm，可达99%uptime，0.02%碎片Read more
  • 制绒上下料机

    制绒上下料机

    制绒上下料自动化设备主要功能是将堆叠的原料硅片导入工艺花篮中，并将装满原料硅片的满花篮送入主机；工艺后，将满花篮从主机搬出后对接AGV。稳定可靠，可匹配市面所有主设备使用，兼容尺寸182-230mm；Read more
  • ALD自动化上下料

    ALD自动化上下料

    铝舟（ALD）自动化主要功能：将经过工艺处理后的铝舟内的硅片自动化取出装篮，并将没经过工艺处理的硅片自动化从花篮中取出装入铝舟，稳定可靠，兼容尺寸182-230mm，整边机由两个单边组成，两个单边独立操作互不影响；Read more
  • PE自动化上下料机

    PE自动化上下料机

    石墨舟（PE）自动化主要功能：将经过工艺处理后的石墨舟内的硅片自动化取出导片装篮，并将没经过工艺处理的硅片自动化从花篮中取出导片装入石墨舟，可匹配市面所有主设备使用，稳定可靠，兼容尺寸182-230mm；Read more
  • 链式+槽式二合一上下料机

    链式+槽式二合一上下料机

    链式槽式一体上下料自动化设备主要功能是对接链式和槽式主机，完成花篮内硅片发片平铺后进入链式主机；链式工艺后，片子再次导入工艺花篮，并将满花篮送入槽式主机；槽式工艺后，将满花篮从主机搬出后对接AGV。稳定可靠，可匹配市面所有主设备使用；Read more

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