细丝热场

细丝热场

参数表
产品介绍

LAPLACE热场专为光伏热制程设备定制，采用一体真空吸附的制程方式，选用硬质细丝作为加热体，有着优越的温度均匀性及产品一致性，适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型。

技术参数及指标
  • 兼容石英管直径430-540mm
  • 温区数量≥6个
  • 分区数量≥4个
  • 恒温区长度≤2700mm
  • 最大升温速率20°C/min
  • 最大降温速率5°C/min
  • 温控精度±1°C/4h
  • 温控范围≤1100°C
  • 使用寿命≥1年
产品优势
  • 优越的温度均匀性及超长的恒温工作区
  • 温度无过冲
  • 缩短快速升温及快速降温工艺时长
  • 可加热到更高温度，加热体变形小，寿命长
  • 无需采用变压器，可以实现灵活的控温方式
  • 优越的耐热材料保温性能，实现低能耗