参数配置

• 型号LBA18000
• 产能单台设备(净产能)>18000片/小时
• 稼动率≥99%
• 碎片率≤0.01%
• 片级追溯准确率≥99.9%
• 硅片尺寸18X±0.5mm*18X±0.5mm 210±0.5mm*210±0.5mm
• 选配1.隐裂检测 2.双片检测 3.来料碎片检测(视觉)4.下料水片检测(AOI)