ALD自动化上下料

ALD自动化上下料

参数配置

型号LADA22000RL
产能22000片/小时(@182)，20000片/小时(210)
适用范畴ALD自动化上下料
稼动率≥99%
碎片率≤0.03%
机台尺寸16900mm*6800mm*4400mm(包含主机)
硅片尺寸适用于182-230多种硅片尺寸
选配花篮来料碎片检测

技术特点

兼容人工和AGV上下料，选配 MES 功能
机台内布局简单，空间适宜，便于设备功能扩展与设备维护
曲翘片兼容性优，适用BC电池
吸盘等硅片接触部件采用特殊材质及加工工艺，降低对硅片的损伤，降低碎片率