碳化硅小舟

碳化硅小舟

碳化硅小舟

参数表
产品介绍

产品材料：碳化硅
产品结构形式：一体烧结成型
产品用途：在线扩散/退火/LPCVD等自动上下料机,承载硅片。

规格参数
  • 长*宽*高320mm*185mm*293.9mm（可定制）
  • 耐热温度高达1200℃
  • 硅片承载数量102-140片（可定制）
  • 承载硅片规格182/210mm(可定制）
产品优势
  • 极佳尺寸精度和一致性，公差级别0.05mm
  • 耐强酸碱，受性超过50次循环
  • 结构强度高，不易断裂，寿命长达36个月
  • 极低的金属杂质含量，Fe含量低于0.02%