碳化硅一体舟托

碳化硅一体舟托

产品介绍

产品材料：碳化硅
产品结构形式：一体烧结成型
产品用途：在线扩散/退火/LPCVD等自动上下料机，硅片花篮的运输载具

规格参数

长*宽*高2140mm*300mm*200mm（可定制）
耐热温度高达1200℃
花篮装夹数量10-20个（可定制）
最大负载重量120kg

产品优势

极佳尺寸精度和一致性，公差级别0.1mm
结构强度高，经久耐用，不易断裂
耐强酸碱，受性超过50次循环