粗丝热场

粗丝热场

粗丝热场

参数表
功能介绍

选用粗规格FeCrAl发热丝作为加热体，优越的温度均匀性及产品一致性和较长的使用寿命；适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型。

参数配置
  • 兼容石英管直径430-540mm
  • 温区数量≥6个
  • 分区数量≥4个
  • 恒温区长度≤2700mm
  • 最大升温速率20°C/min
  • 最大降温速率5°C/min
  • 温控精度1°C/4h
  • 温控范围≤1100°C
  • 使用寿命≥1年
技术特点
  • 整个生产过程无特殊化学品或有害气体排放
  • 陶瓷纤维具有重量轻、保温性能好、热稳定性好、 化学稳定性好，施工方便等优点
  • 陶瓷垫圈的加入增加了循环温度下的一致性和可靠性